 |
邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
會(huì)員.png)
12
聯(lián)系電話
|
邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
聯(lián)系電話
閱讀：162 發(fā)布時(shí)間：2020/09/22
臺(tái)式狹縫涂布機(jī)
涂布系統(tǒng)主要包括供料單元和涂布單元,，涂布單元是通過利用精密機(jī)械加工
所制作的上下模及安裝在上下模間的薄墊片所組成,，供料單元由儲(chǔ)料,、輸送的注
射泵及過濾裝置等組成,。系統(tǒng)由涂布模具相對(duì)于基片作準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)，通過控制速率,、
精密計(jì)量和泵送工藝流體,，將液體化學(xué)材料從上下模之間的縫隙擠出涂布于移動(dòng)
的基板（玻璃、不銹鋼和塑料等）上形成薄膜,。涂膜厚度可由液體流量與基板移
動(dòng)速度直接計(jì)算,，其優(yōu)點(diǎn)為涂膜均勻性高、可適用的涂料粘度范圍廣,、涂布速度
快,、以及可制作大面積的涂膜。適用于有機(jī)太陽能電池 OPV 和鈣鈦礦太陽能電池 PVK 等基材的涂布,，非連續(xù)基材如 LCD 玻璃基板光阻涂布,，也應(yīng)用于光學(xué)膜（增亮膜、hardcoat,、偏光膜,、擴(kuò)散膜等）、OLED 涂布等,。多種規(guī)格尺寸可選可定制,，多種人性化配置可選：加熱臺(tái)、特殊氣體吹淋系統(tǒng),、多尺寸刀頭,，多規(guī)格墊片等，滿足客戶多種需求,，為客戶量身定制高精密專業(yè)設(shè)備,。
•設(shè)備整體采用兩級(jí)調(diào)整確保大面積平臺(tái)水平度，涂布平臺(tái)有單獨(dú)的調(diào)平機(jī)構(gòu),，平臺(tái)是否平整作為工藝門檻的一步相當(dāng)于地基,。
•涂布刀頭采用專用合金，特殊表面熱處理的進(jìn)口大尺寸刀頭（自有設(shè)計(jì)技術(shù)）,，防有機(jī)溶劑,，防形變。
•Z 軸采用伺服電機(jī)配合編碼器加光柵尺雙閉環(huán),，確保刀頭的位置精度,，和刀頭的水平度,。
•集成化注射泵，可聯(lián)動(dòng)控制溶液流速,，自動(dòng)進(jìn)液,，自動(dòng)除氣，自動(dòng)管路清洗（需要配備清洗液,，刀頭需拆卸清洗）,。
•涂布平臺(tái)運(yùn)行機(jī)構(gòu)采用直線伺服電機(jī)提高平臺(tái)穩(wěn)定性，將工藝中影響的因素減到很小,。
•廢液回收系統(tǒng),，可配合管路清洗進(jìn)行廢液回收，方便廢液處理,。
•涂布平臺(tái)帶有多區(qū)域真空吸附功能,，基底定位功能，方便基底定位以及涂布過程的固定,。
•多段式涂布工藝,，更好的保證基底首尾膜厚的控制。
